Griešana, tīrīšana, zamšādas sagatavošana, perifērijas kodināšana, PN plus savienojuma noņemšana aizmugurē, augšējo un apakšējo elektrodu izgatavošana, pretatstarošanas plēves izgatavošana, saķepināšana, testēšana un šķirošana utt. 10 soļi.
Īpaša saules bateriju ražošanas tehnoloģija
(1) Šķēle: silīcija stienis tiek sagriezts kvadrātveida silīcija plāksnēs, sagriežot vairākas stieples.
(2) Tīrīšana: notīriet silīcija plāksnīti ar parasto tīrīšanas metodi un pēc tam noņemiet 30-50mm no griešanas bojājuma slāņa uz silīcija vafeles virsmas ar skābes (vai sārma) šķīdumu.
(3) Zamšādas izgatavošana: silīcija vafeles anizotropo kodināšanu sārma šķīdumā izmanto, lai izgatavotu zamšādu uz silīcija vafeles virsmas.
(4) Fosfora difūzija: PN plus savienojumus veido difūzija no pārklājuma avota (šķidra avota vai cietā fosfora nitrīda pārslu avota), un savienojuma dziļums parasti ir 0.3-0.5um.
(5) Perifērā kodināšana: difūzijas slānis, kas veidojas uz silīcija vafeles virsmas difūzijas laikā, saīsinās akumulatora augšējo un apakšējo elektrodu un noņem difūzijas slāni, aizsargājot mitro kodināšanu vai plazmas sauso kodināšanu.
(6) Noņemiet aizmugurējo PN plus savienojumu. Aizmugurējo PN plus savienojumu parasti noņem ar mitru kodināšanu vai slīpēšanu.
(7) Augšējo un apakšējo elektrodu izgatavošana: izmantojot vakuuma iztvaicēšanu, bezvada niķeļa pārklājumu vai alumīnija vircas drukāšanas un saķepināšanas procesu. Pirmkārt, tiek izgatavots apakšējais elektrods, un pēc tam tiek izgatavots augšējais elektrods. Alumīnija vircas druka ir plaši izmantots process.
(8) Pretrefleksijas plēves izgatavošana: lai samazinātu ievades atstarošanas zudumus, silīcija plāksnītes virsmai jāpārklāj pretatstarošanās plēves slānis. Materiāli, ko izmanto pretatstarojošo pārklājumu izgatavošanai, ir MgF2, SiO 2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 un tā tālāk. Procesa metodes var būt vakuumpārklāšana, jonu pārklāšana, izsmidzināšana, drukāšana, PECVD vai izsmidzināšana.
(9) Saķepināšana: akumulatoru mikroshēmu saķepināšana uz niķeļa vai vara pamatnēm.
(10) Testa klasifikācija: saskaņā ar norādītajiem parametriem un specifikācijām, testa klasifikācija.
